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NMV-M158 低延迟双折射检测仪
使用专利光延迟调制器(PEM)技术，该系统提供最高规格双折射灵敏度。此外，PEM提供高速操作，以50/60KHz的速度进行调制。高灵敏度与高重复精度的特性，很容易实现亚纳米级的双折射延迟量测量。
便捷快速的操作而设计
仪器自带一个140x190mm（可定制其他尺寸）的光学样品台，可以通过手动或自动方式设定扫描区域。将样本放置到样品台后，可以通过软件的图形界面进行直观的设置与测量。用户界面软件能够显示延迟值和快轴角度，并且能在扫描模式下提供二维的延迟分布信息。
应用
质量控制
低延迟的双折射测量：
光滑玻璃
其他透明光学元件
激光晶体
光刻组件的质量验证：
光掩膜
熔石英光学元件
氟化钙镜片毛坯和窗口
主要特点
在低延迟双折射测量中可同时测量双折射延迟幅度和角度
精确度可重复性
高速测量（60pps）
无需移动被测样品
可自由设定测量区间范围
主要参数
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调制频率 |
50KHz/60KHz |
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波长 |
632.8nm（可定制） |
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信号处理方案 |
信号捕捉卡 |
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测量单位 |
延迟量: nm 轴角度：° |
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扫描范围 |
140*190mm （可定制其他范围） |
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可测量的延迟范围 |
0.005nm-158nm |
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延迟精度/重复性 |
0.001nm/±0.015nm |
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角度精度/重复性 |
0.01°/±0.07° |
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测量速度 |
60次/秒 |
